표준연, 반도체 수율 핵심인 플라즈마 실시간 진단
버튼
KRISS 김정형(사진 왼쪽) 책임연구원과 이효창(〃오른쪽) 선임연구원이 실시간 플라즈마 측정센서를 소개하고 있다. 사진제공=KRISS
팝업창 닫기
공유하기
facebook
twitter
kakao
복사
