[단독]EUV 노광기 생산 40→90대로…ASML '플랜 자위트' 순항

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네덜란드 펠트호번의 ASML 글로벌 본사에서 새로운 노광장비 제조 시설인 ‘5KM’이 건립되고 있다. 사진=강해령 기자

ASML 펠트호번 본사 외곽 쪽 플랜 자위트에 대여섯 대의 항타기가 동원돼 ASML의 새로운 클린룸 착공이 시작됐다. 사진=강해령 기자

ASML이 본사에서 자동차로 5분 정도 떨어진 거리에 착공하고 있는 새로운 사무동. 4개의 사무동 건립 뒤 확장까지 검토하고 있다. 사진=강해령 기자

ASML의 EUV 노광장비. 사진 제공=ASML

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