삼성전자 'EUV '펠리클' 투과율 90%…국내 공급 업체는 없다' [줌 컴퍼니]
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EUV 펠리클. 사진출처=미쓰이 화학
자료 출처=강영석 삼성전자 펠로우 KISM 2023 발표자료 갈무리
범용 ArFi 펠리클과 EUV 펠리클의 차이. 자료=메리츠종금증권 리서치센터
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