삼성전자, 日 미쓰이와 EUV 펠리클 맞손…파운드리 수율 개선 사활 [biz-플러스]
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경기도 화성에 위치한 삼성전자 극자외선(EUV) 전용 기지 V1라인. 사진제공=삼성전자
미쓰이 화학의 EUV 펠리클. 사진제공=미쓰이화
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