인하대, 삼성전자와 하이-NA EUV용 포토레지스트 공동 개발

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인하대 이진균 교수 연구팀과 삼성전자 반도체연구소 최진 마스터 연구팀, 서울시립대 신소재공학과 연구팀. 사진제공=인하대
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