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[공시]티씨케이, 실리콘 카바이드 기판 제조 등 특허 취득

입력2010.12.10 09:24:56 수정 2010.12.10 09:24:56

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티씨케이는 실리콘 카바이드 기판 제조방법과 정전척의 전극 제조방법 등에 관한 국내 특허를 취득했다고 10일 공시했다. 실리콘 카바이드 기판 제조방법 특허는 벌크(Bulk) 형태의 CVD SiC 소재를 생산하기 위한 기판의 형성방법이고, 정전척의 전극 제조방법 특허는 정전척내의 전극을 용사코팅하여 제조하는 방법이다.

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김홍길 기자

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