경제·금융 경제동향

세메스, 반도체 매엽식 세정장비 판매 2500대 국내 첫 돌파

누적 매출 7조 원 넘겨

세메스 초임계 세정장비 퓨어시스. 사진제공=세메스세메스 초임계 세정장비 퓨어시스. 사진제공=세메스





반도체 장비업체로 삼성전자(005930)의 자회사인 세메스는 반도체 매엽식 세정장비 양산 판매 대수가 국내 최초로 2500대를 넘었다고 1일 밝혔다.

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매엽식 세정은 반도체 웨이퍼의 회로 선폭이 점점 미세해지면서 웨이퍼 표면에 남아있는 파티클(오염물질)을 제거하기 위해 반도체 웨이퍼를 한장씩 개별적으로 세정하는 방식이다. 세메스는 이 장비를 2006년 7월 첫 양산한 이후 지금까지 7조 원 넘는 누적 매출을 올렸고, 장비에 들어가는 주요 기술에 대해선 국가핵심기술 판정도 받았다.

다. 이들 설비는 다양한 소재와 신기술을 적용해 세정 성능을 기존 대비 90% 이상 크게 향상시켰다. 또한 웨이퍼의 오염 상태에 따라 세정 방식을 조절할 수 있도록 제작됐다.

김경현 세메스 클린팀장은 “앞으로 다양한 공정기술이 융복합된 신제품 개발 및 친환경 설비 경쟁력 확보를 통해 명실상부한 반도체 세정장비 선도업체로 도약하겠다”고 말했다.


노우리 기자
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